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福建冯阿登纳真空镀膜设备

更新时间:2025-10-20      点击次数:2

【真空蒸镀的历史】:1857年MichaelFaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油扩散式真空泵实用化、蒸镀主要用于制作镜片防反射膜。第二次世界大战时,其他的光学机器对材料的需求提高,真空蒸镀也因此快速发展。【真空蒸镀的原理】:在真空状态下,加热蒸发容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉积在目标物体表面,形成固态薄膜。依蒸镀材料、基板的种类可分为:抵抗加热、电子束、高周波诱导、雷射等加热方式。蒸镀材料有铝、亚铅、金、银、白金、镍等金属材料与可产生光学特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2等氧化物与氟化物。蒸镀除金属外,树脂与玻璃也可以使用、近年来连纸也变成可蒸镀。【蒸发镀膜的优缺点】:优点:设备简单、容易操作;成膜的速率快,效率高。缺点:薄膜的厚度均匀性不易控制,蒸发容器有污染的隐患,工艺重复性不好,附着力不高。真空镀膜设备常见故障及解决方法。福建冯阿登纳真空镀膜设备

【真空镀膜机常见故障】: 一、 当正在镀膜室真空突然下降 1. 蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈) 2. 坩埚被打穿(更换坩埚) 3. 高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 4. 工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 5. 预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 6. 高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 7. 机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常) 8. 烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 9. 挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空: 1. 蒸发室有很多粉尘(应清洗) 2. 扩散泵很久未换油(应清洗换油) 3. 前级泵反压强大太机械泵真空度太低(应清洗换油) 4. 各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5. 由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 6. 蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 7. 各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 8. 高低预阀是否密封可靠(注油)安徽真空镀膜设备前景国产真空镀膜设备哪家好?

真空镀膜设备常见的污染物有:加工、装配、操作、的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂这类油脂。还有酸、碱、盐等的剩余物质还有手汗、水中的矿物质等。还有抛光残渣、以及环境空气中的尘埃和其他的有机物,这些都是需要进行清理的,我们在使用真空镀膜设备之前进行简单清理可以延长它的运行寿命,这些污染物还会影响真空部件的衔接处的强度和密封性能。目前,国内制造真空镀膜机的制造商越来越多,甚至不只是国内,国外也有很多。

【真空镀膜真空溅射法】:真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。真空镀膜设备品牌有很多,你如何选择?

【磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法】设备包含真空镀膜室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓,真空镀膜室为立式圆筒形结构,立式旋转鼓位于真空镀膜室内,绕垂直轴线旋转,立式旋转鼓中心设置有旋转密封箱,旋转密封箱内设置有膜厚测量仪表,旋转密封箱的上部连接有旋转轴,旋转密封箱内的气氛与真空镀膜室隔离。多组磁控溅射靶组件设置在立式旋转鼓wai围的真空镀膜室的侧壁上。镀膜方法包括将需要镀膜的工件装卡到镀膜设备的立式旋转鼓的侧面,对镀膜设备抽真空;转动立式旋转鼓达到设定的转速;启动射频离子源;交替启动第一种材料的磁控靶靶和第二种材料的磁控靶,按工艺要求镀制膜层。真空镀膜设备故障解决方法?湖北塑胶注塑成型真空镀膜设备

真空镀膜设备日常怎么维护?福建冯阿登纳真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】:一般的镀膜会对基片加热,由于基片是装架在金属圈、碟内,由于镜圈或碟片与镜片(基片)的热膨胀系数不一致,冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。有些大镜片,由于出罩时的温度较高,与室温的温差较大,镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。改善对策:1.夹具(镜圈、碟片)的设计,在尺寸配合上要合理,充分考虑制造误差带来的影响。2.注意镜圈、碟片的变形,已经变形的夹具不能使用。3.选用合适的夹具才来哦(非导磁材料、不生锈、耐高温不变性),不锈钢较为理想(热变形系数小),就是加工难度大,价格贵。4.对于大镜片应降低出罩时的温度,减少温差,防止炸裂。5.如果时镜圈,可以考虑在镜圈上开槽,作为缓冲!福建冯阿登纳真空镀膜设备

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